NF ISO 17973 : 2006

Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Références normatives
3 Termes et définitions
4 Symboles et termes abrégés
5 Aperçu de la méthode
6 Procédures d'étalonnage de l'échelle d'énergie
  6.1 Obtention des échantillons de référence
  6.2 Montage des échantillons
  6.3 Nettoyage des échantillons
  6.4 Choix des réglages du spectromètre pour
      l'étalonnage de l'énergie
  6.5 Fonctionnement de l'instrument
  6.6 Mesurage des pics de référence
  6.7 Détermination des énergies cinétiques mesurées
      des pics de référence
  6.8 Détermination de la correction de l'échelle d'énergie
      cinétique de l'instrument
  6.9 Étalonnage suivant
Bibliographie

La présente Norme internationale précise une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger avec une incertitude de 3 eV, pour une utilisation analytique générale relative à l'identification des éléments au niveau des surfaces. En outre, elle spécifie une méthode permettant d'établir un calendrier d'étalonnage. Elle s'applique à des instruments utilisés en mode direct ou dérivé, pour lesquels la résolution est inférieure ou égale à 0,5% et l'amplitude de modulation en mode dérivé, s'il est utilisé, est de 2 EV de pic à pic. Elle s'applique aux spectromètres équipés d'un canon à ions à gaz inerte ou d'une autre méthode de nettoyage des échantillons et d'un canon à électrons pouvant fonctionner à une énergie de faisceau de 4 keV ou plus.